Nnyocha ọhụrụ na nchọpụta foto InGaAs dị gịrịgịrị

Nnyocha ọhụrụ gbasara ihe dị oke mkpaNchọpụta foto InGaAs
Mmepe nke teknụzụ onyonyo infrared dị mkpụmkpụ (SWIR) enyela aka dị ukwuu na sistemụ ọhụụ abalị, nyocha ụlọ ọrụ mmepụta ihe, nyocha sayensị, na nchekwa nchekwa na mpaghara ndị ọzọ. Ka ọchịchọ maka nchọpụta na-abawanye karịa ụdị ìhè a na-ahụ anya, mmepe nke sensọ onyonyo infrared dị mkpụmkpụ na-abawanyekwa mgbe niile. Agbanyeghị, inweta mkpebi dị elu na obere mkpọtụihe nchọpụta foto sara mbaraKa na-eche ọtụtụ ihe ịma aka teknụzụ ihu. Ọ bụ ezie na ihe nchọpụta infrared InGaAs ọdịnala nwere ike igosipụta arụmọrụ mgbanwe fotoelectric dị mma na mmegharị ibugharị, enwere ihe dị iche n'etiti ihe ngosi arụmọrụ ha dị mkpa na nhazi ngwaọrụ. Iji nweta arụmọrụ quantum dị elu (QE), imewe ọdịnala chọrọ oyi akwa nnabata (AL) nke micromita 3 ma ọ bụ karịa, nhazi nhazi a na-edugakwa na nsogbu dị iche iche.
Iji belata ọkpụrụkpụ nke oyi akwa nnabata (TAL) na infrared dị mkpụmkpụ InGaAsihe nchọpụta foto, ịkwụghachi ụgwọ maka mbelata nnabata na ogologo ogologo ebili mmiri dị oke mkpa, ọkachasị mgbe ọkpụrụkpụ oyi akwa nnabata obere mpaghara na-eduga na nnabata zuru oke na oke ogologo ebili mmiri. Foto 1a na-egosi ụzọ isi kwụọ ụgwọ maka ọkpụrụkpụ oyi akwa nnabata obere mpaghara site na ịgbasa ụzọ nnabata anya. Ọmụmụ ihe a na-eme ka arụmọrụ quantum (QE) dịkwuo mma na eriri infrared dị mkpụmkpụ site n'itinye usoro nhazi ọnọdụ nduzi TiOx/Au (GMR) dabere na azụ nke ngwaọrụ ahụ.

Ma e jiri ya tụnyere usoro ntụgharị ígwè planar ọdịnala, usoro nhazi resonance mode nwere ike ịmepụta ọtụtụ mmetụta nnabata resonance, na-eme ka arụmọrụ nnabata nke ìhè ogologo-wave dịkwuo mma. Ndị nchọpụta mere ka nhazi paramita dị mkpa nke usoro nhazi resonance mode nduzi, gụnyere oge, ihe mejupụtara ihe, na ihe mejupụtara, site na usoro nyocha ebili mmiri siri ike (RCWA). N'ihi ya, ngwaọrụ a ka na-ejigide nnabata dị irè na eriri infrared dị mkpụmkpụ. Site n'iji uru nke ihe InGaAs mee ihe, ndị nchọpụta nyochakwara nzaghachi spectral dabere na nhazi substrate. Mbelata na ọkpụrụkpụ nke oyi akwa nnabata kwesịrị iso ya na mbelata na EQE.
Na mmechi, nchọpụta a mepụtara ihe nchọpụta InGaAs nke ọma nke nwere naanị ọkpụrụkpụ nke 0.98 micrometers, nke karịrị okpukpu 2.5 karịa nhazi ọdịnala. N'otu oge ahụ, ọ na-ejigide arụmọrụ quantum nke karịrị 70% na oke ogologo 400-1700 nm. Mmezu ihe ọhụrụ nke ihe nchọpụta foto InGaAs dị gịrịgịrị na-enye ụzọ teknụzụ ọhụrụ maka mmepe nke ihe mmetụta onyonyo dị elu, obere mkpọtụ. A na-atụ anya na oge njem ngwa ngwa nke imewe nhazi dị gịrịgịrị wetara ga-ebelata mkparịta ụka eletriki nke ukwuu ma melite njirimara nzaghachi nke ngwaọrụ ahụ. N'otu oge ahụ, nhazi ngwaọrụ belatara adabara maka teknụzụ njikọta otu-chip atọ (M3D), na-atọ ntọala maka iru usoro pixel dị elu.