Otu n'ime ihe kachasị mkpa nke modulator anya bụ ngwa ngwa mgbanwe ya ma ọ bụ bandwit, nke kwesịrị ịdịkarịa ngwa ngwa dị ka ngwa eletrik dị.Egosiputalarị transistor nwere oge nfefe nke ọma karịa 100 GHz na teknụzụ silicon 90nm, ọsọ ahụ ga-abawanyekwa ka ebelata nha njirimara kacha nta [1].Agbanyeghị, bandwit nke modulators dabere na silicon ugbu a nwere oke.Silicon enweghị χ(2) -adịghị adị n'ịntanetị n'ihi nhazi kristal centro-symmetric ya.Ojiji nke silicon na-emebi emebi ebutelarị nsonaazụ na-atọ ụtọ ugbua [2], mana ihe ndị na-abụghị nke ntanetị ekwebeghị maka ngwaọrụ bara uru.Ndị modul ndị na-ahụ maka silicon photonic nke ọgbara ọhụrụ ka na-adabere na mgbasa ozi na-ebu efu na pn ma ọ bụ pin junction [3-5].Egosipụta njikọ na-enweghị isi na-aga n'ihu iji gosipụta ngwaahịa dị ogologo voltaji dị ala dị ka VπL = 0.36 V mm, mana ọsịsọ mgbanwe na-ejedebe site na mgbanwe nke ndị na-ebu obere obere.N'agbanyeghị nke ahụ, ewepụtala ọnụego data nke 10 Gbit/s site n'enyemaka nke mgbama ọkụ eletrịk etinyegoro tupu oge eruo [4].N'iji ntụgharị ihu na-adịghị mma kama, abawanyela bandwit ruo ihe dịka 30 GHz [5,6], mana ngwaahịa voltaji bilitere na VπL = 40 V mm.N'ụzọ dị mwute, ndị na-eme mgbanwe usoro mmetụta plasma dị otú ahụ na-emepụtakwa modulation ike na-adịghị mma [7], ha na-anabatakwa voltaji etinyere na-akpaghị aka.Ụdị modulation dị elu dị ka QAM chọrọ, Otú ọ dị, nzaghachi ahịrị na nhazi usoro dị ọcha, na-eme ka nrigbu nke mmetụta electro-optic (Pockels mmetụta [8]) na-achọsi ike karịsịa.
2. SOH ụzọ
N'oge na-adịbeghị anya, a tụrụ aro usoro ngwakọ silicon-organic (SOH) [9-12].E gosipụtara ihe atụ nke modulator SOH na Fig. 1 (a).Ọ nwere oghere ebili mmiri na-eduzi oghere anya, yana eriri silicon abụọ nke na-ejikọ ọkụ eletrik anya na ebili mmiri igwe na electrodes dara.Ndị electrodes dị n'èzí oghere modal anya iji zere mfu anya [13], Fig. 1 (b).A na-ekpuchi ngwaọrụ ahụ na ihe elektrọn optic organic nke na-eju oghere ahụ n'otu oge.A na-ebu voltaji na-agbanwe agbanwe site na igwe ọkụ eletrik dara wee dapụ n'ofe oghere ahụ maka eriri silicon na-eduzi.Igwe ọkụ eletrik nke a na-esi na ya pụta na-agbanwe index of refraction na oghere site na mmetụta electro-optic dị ngwa ngwa.Ebe oghere ahụ nwere obosara n'usoro nke 100 nm, volt ole na ole zuru ezu iji mepụta mpaghara modulating siri ike nke dị n'usoro nke ike dielectric nke ọtụtụ ihe.Ihe owuwu ahụ nwere arụmọrụ modulation dị elu ebe ọ bụ na ma modulating na oghere anya na-etinye uche n'ime oghere, Fig. 1 (b) [14].N'ezie, egosipụtalarị na mmejuputa mbụ nke SOH modulators na ọrụ sub-volt [11], na sinusoidal modulation ruo 40 GHz gosipụtara [15,16].Otú ọ dị, ihe ịma aka dị n'ịrụpụta ndị na-ahụ maka SOH dị elu nke dị ala bụ ịmepụta eriri njikọ na-eduzi nke ukwuu.Na sekit kwekọrọ na oghere nwere ike ịnọchite anya ya site na capacitor C na ibe ndị na-eduzi site na resistors R, Fig. 1 (b).Oge RC kwekọrọ na ya na-ekpebi bandwit nke ngwaọrụ [10,14,17,18].Iji belata nguzogide R, a tụrụ aro ka ị dope eriri silicon [10,14].Ọ bụ ezie na doping na-abawanye conductivity nke eriri silicon (ya mere na-abawanye mfu ngwa anya), mmadụ na-akwụ ụgwọ mfu ọzọ n'ihi na mmegharị eletrọn na-emebi site na mgbasa adịghị ọcha [10,14,19].Ọzọkwa, mbọ nrụpụta kacha ọhụrụ gosipụtara na-atụghị anya arụmọrụ dị ala.
Beijing Rofea Optoelectronics Co., Ltd. nke dị na "Silicon Valley" nke China - Beijing Zhongguancun, bụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu raara onwe ya nye na-ejere ụlọ ọrụ nyocha ụlọ na nke mba ọzọ ozi, ụlọ ọrụ nyocha, mahadum na ndị ọrụ nyocha sayensị.Ụlọ ọrụ anyị na-etinyekarị aka na nyocha na mmepe onwe onye, ichepụta, nrụpụta, ire ngwaahịa optoelectronic, ma na-enye ngwọta ọhụrụ na ọkachamara, ọrụ ahaziri iche maka ndị nchọpụta sayensị na ndị injinia mmepụta ihe.Mgbe ọtụtụ afọ nke ihe ọhụrụ nke onwe ya gasịrị, ọ etolitela ọgaranya na nke zuru oke nke ngwaahịa fotoelectric, nke a na-ejikarị eme ihe na obodo, ndị agha, ụgbọ njem, ike eletrik, ego, agụmakwụkwọ, ahụike na ụlọ ọrụ ndị ọzọ.
Anyị na-atụ anya imekọ ihe ọnụ na gị!
Oge nzipu: Mar-29-2023