Okwu Mmalite maka Nhazi na Arụmọrụ nke Thin Film Lithium Niobate Electro optic Modulator

Okwu Mmalite maka Nhazi na Arụmọrụ nkeMkpa Ihe Nkiri Lithium Niobate Electro optic Modulator
An ihe na-eme ka electro-optic modulator dịdabere na usoro dị iche iche, ogologo ebili mmiri, na ikpo okwu nke obere fim lithium niobate, yana ntụnyere arụmọrụ zuru oke nke ụdị dị iche icheNdị na-eme ka EOM rụọ ọrụ, yana nyocha nke nyocha na itinye n'ọrụ nkeihe na-eme ka lithium niobate dị gịrịgịrịn'ọhịa ndị ọzọ.

1. Ihe nkiri lithium niobate dị mkpa nke na-anaghị emegharị oghere
Ụdị modulator a dabere na mmetụta electro-optic dị mma nke kristal lithium niobate ma bụrụ ngwaọrụ dị mkpa maka inweta nkwukọrịta anya dị elu na nke dị anya. E nwere isi ihe atọ:
1.1 Igwe MZI nke elektrọd ebili mmiri na-agagharị: Nke a bụ ihe a na-ahụkarị. Ndị otu nyocha Lon č ar na Mahadum Harvard buru ụzọ nweta ụdị arụmọrụ dị elu na 2018, yana mmezi ndị sochirinụ gụnyere ibu capacitive dabere na quartz substrates (bandwit dị elu mana ọ kwekọghị na silicon) na dakọtara dabere na silicon dabere na substrate hollowing, na-enweta bandwidth dị elu (>67 GHz) na mgbaàmà dị elu (dịka 112 Gbit/s PAM4).
1.2Mpịakọta MZI modulator: Iji mee ka nha ngwaọrụ dị mkpụmkpụ ma gbanwee na modulu dị obere dịka QSFP-DD, a na-eji ọgwụgwọ polarization, cross waveguide ma ọ bụ inverted microstructure electrodes iji belata ogologo ngwaọrụ ahụ site na ọkara ma nweta bandwit nke 60 GHz.
1.3 Igwe Nhazi Otu/Mgbasa Okpokoro Okpokoro (IQ) nke Otu/Mgbasa Okpokoro ...

2. Ụdị oghere na-emegharị emegharị nke nwere ihe nkiri lithium niobate dị gịrịgịrị
Iji nweta modulators bandwidth dị obere na nnukwu, enwere ọtụtụ nhazi oghere resonant dị:
2.1 Igwe fotonic kristal (PC) na igwe micro ring modulator: Ndị otu nyocha Lin na Mahadum Rochester emepụtala igwe photonic kristal modulator mbụ nwere arụmọrụ dị elu. Na mgbakwunye, a tụpụtala igwe micro ring modulators dabere na njikọta dị iche iche na njikọta otu, na-enweta bandwidth nke ọtụtụ GHz.
2.2 Bragg grating resonant cave modulator: gụnyere oghere Fabry Perot (FP), waveguide Bragg grating (WBG), na slow light modulator (SL). E mere ihe owuwu ndị a iji hazie nha, nhazi nnabata, na arụmọrụ, dịka ọmụmaatụ, modulator oghere resonant 2 × 2 FP na-enweta nnukwu bandwidth karịrị 110 GHz. modulator ọkụ dị nwayọ dabere na Bragg grating jikọtara na-agbasa oke bandwit ọrụ.

3. Ụdị ihe nkiri dị iche iche nke lithium niobate modulator
E nwere ụzọ atọ isi njikọta iji jikọta ndakọrịta nke teknụzụ CMOS na nyiwe dabere na silicon yana arụmọrụ modulation dị mma nke lithium niobate:
3.1 Ụdị njikọ dị iche iche: Site na ijikọta ozugbo na benzocyclobutene (BCB) ma ọ bụ silicon dioxide, a na-ebufe lithium niobate dị gịrịgịrị na ikpo okwu silicon ma ọ bụ silicon nitride, na-enweta ọkwa wafer, njikọta okpomọkụ dị elu. Ihe modulator ahụ na-egosipụta nnukwu bandwidth (>70 GHz, ọbụna karịa 110 GHz) na ikike nnyefe mgbaàmà dị elu.
3.2 Njikọta dị iche iche nke ihe nduzi ebili mmiri: itinye silicon ma ọ bụ silicon nitride na obere ihe nkiri lithium niobate dị ka onye ndu ebili mmiri na-enwetakwa mgbanwe electro-optic dị irè.
3.3 Mbipụta mbufe Micro (μ TP) njikọta dị iche iche: Nke a bụ teknụzụ a na-atụ anya na a ga-eji maka mmepụta buru ibu, nke na-ebufe ngwaọrụ ọrụ emebere tupu e tinye ha na ibe site na ngwa dị oke mma, na-ezere nhazi dị mgbagwoju anya. Ejirila ya nke ọma na nyiwe silicon nitride na silicon, na-enweta bandwit nke iri GHz.

Na nchịkọta, isiokwu a na-akọwapụta usoro teknụzụ nke modulators electro-optic dabere na ikpo okwu lithium niobate dị gịrịgịrị, site n'ịchụso usoro oghere dị elu na nke na-abụghị resonant, inyocha obere usoro oghere resonant, na ijikọ ya na ikpo okwu photonic nke silicon tozuru oke. Ọ na-egosi nnukwu ikike na ọganihu na-aga n'ihu nke modulators lithium niobate dị gịrịgịrị n'ịwapụ obere usoro arụmọrụ nke modulators ọdịnala na inweta nkwukọrịta anya dị elu.


Oge ozi: Maachị-31-2026